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在高分辨率的光刻机上也能达到十倍吗?

如果能,那岂不是可以直接实现3n级别的工艺了?直接赶上全世界最先进制程!

“想什么呢?”纪弘一笑:“这玩意跟芯片制造本身一样,分辨率越高越困难。但是……”

“但是什么?”纪弘没想大喘气,就是稍微顿了一下,于东直接就破不接待的接上了。

“现在的所谓5n,3n什么的也不是实际线宽呐,都是所谓的等效。所以,实际能做到什么程度,还得试过才知道。”

“我还有一个问题。”于东问道:“你们这个产线,光刻机是经过一定程度改造的吧?如果硬件不满足需求,光靠ai不能行吧?”

“嗯。”纪弘没有否认,也没必要,一看就知道,用到了机器视觉,不改造的尼康老光刻机哪有这玩意儿啊!

改造二手低端光刻机,国内有成型的产业链和相关企业,但是改造阿斯麦28n的光刻机,谁来?